目標(biāo)
1 通過化學(xué)氣相沉淀方法將統(tǒng)一的膠片應(yīng)用在硅晶片上。
2 使化學(xué)物質(zhì)沉淀在晶片上。
微米位移傳感器解決方案
在沉淀開始前，Kaman傳感器確保金屬盤與噴灑器保持平行的位置關(guān)系，噴灑器用來均勻噴射氣體(如圖所示)。傳感器則用來做校準(zhǔn)裝置，這樣校準(zhǔn)可以定位金屬盤在一個合適的位置。Kaman系統(tǒng)提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號，以防止信號值超出可承受范圍。如果金屬盤傾斜，制動裝置將校正其位置。
微米位移傳感器特點
1類型：SMT-9700
2 直接測試： 一個環(huán)直接連接到彈簧浮板傳感器可以直接測試氣體噴射器的位置。
3 無需接觸：應(yīng)用渦電流的技術(shù)，每一個傳感器均可以無接觸地測量到目標(biāo)體的位置。
4 應(yīng)用廣泛。
微米位移傳感器能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。電渦流傳感器能準(zhǔn)確測量被測體（必須是金屬導(dǎo)體）與探頭端面之間靜態(tài)和動態(tài)的相對位移變化。
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