型號：UPC-1000L/UPC-2000L

制造商：UPTECH

設(shè)備用途： 二氧化碳發(fā)泡機，又稱純水靜電裝置，去離子水電阻 率調(diào)節(jié)裝置，加碳機等等。 其原理是向高電阻率的純水中添加二氧化碳，在水中產(chǎn) 生適量的離子增強純水的導電性，降低純水的電阻率 在劃片制程、清洗等半導體加工過程中產(chǎn)生靜電損傷 產(chǎn)品，消除硅屑的靜電吸附便于清洗干凈，后烘干后二 氧化碳揮發(fā)任何雜質(zhì)，不造成二次污染。 二氧化碳發(fā)泡機，可控制微電子工業(yè)生產(chǎn)制程中的靜 電微害，靜電吸附導致產(chǎn)品因靜電放電受到損傷， 止靜電破壞和微粒子的附著，大大產(chǎn)品良品率，降低 生產(chǎn)成本。

設(shè)備原理： 設(shè)計原理是通過膜接觸器來實現(xiàn)純水的潔凈CO2無污 染注入。膜接觸器的特點是氣體可以透析式穿過膜表面均 勻溶解到水里，而水和微粒雜質(zhì)卻很難透過膜。用這種特 制膜將CO2氣體和純水隔開，通過設(shè)備中的精密調(diào)節(jié) 裝置可以控制CO2在水中的溶解量，從而實現(xiàn)控制 水的電阻率。產(chǎn)品水的電阻率可以很方便且地調(diào)整到0.2-18MΩ·cm范圍內(nèi)。

設(shè)備特點： 設(shè)備操作簡單，使用方便，故障率低

用氣省,采用隔水氣體膜式注入CO2,不產(chǎn)生氣泡，另外除了隔4小時需要排1秒鐘水氣時 帶出的CO2外，基本不浪費CO2。

產(chǎn)品水的電阻率可以很方便且地調(diào)整到0.2-2MΩ·cm范圍內(nèi) 水流量變化情況下，可將電阻率變化范圍控制在±0.1MΩ·cm內(nèi) 適用行業(yè)：

此設(shè)備是用于半導體制造和FPD制造、晶圓和芯片切割工序的備設(shè)備。