參數(shù)

型號(hào)  SURFCOM 1400G

測(cè)量范圍

Z 軸（縱向）： 800μ ｍ

X 軸（橫向）： 100 mm 200 mm

測(cè)量分辨率：0.02μ ｍ～ 0.0004μ ｍ　(0.0001μ ｍ，使用率傳感器 )

Ｘ軸指示（橫向） ±（1+2L/100）μ ｍ?。↙ ：測(cè)量長(zhǎng)度 mm），測(cè)量分辨率0.1μ ｍ

驅(qū)動(dòng)部：直線度0.05+1.5L/1000μ ｍ?。↙ ：測(cè)量長(zhǎng)度 mm）

檢測(cè)方式：莫爾光柵尺線性光柵尺

分析項(xiàng)目

對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CMO 標(biāo)準(zhǔn)

參數(shù)

Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, RΔa, RΔq, Rλa, Rλq,

TILT A, Ir, Pt, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, Rδc,

 Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, , SR, SAR

評(píng)價(jià)曲線

斷面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波中心線うねり曲線、転がり円うねり曲線、

斷面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動(dòng)圓波紋度曲線、滾動(dòng)圓中心線波紋度曲線、

DIN4776曲線、粗糙度Motif曲線、波紋度Motif曲線、包絡(luò)波紋度曲線

特性曲線負(fù)荷曲線、振幅分布曲線、功率曲線圖

傾斜補(bǔ)償方法：直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償、前半補(bǔ)償、后半補(bǔ)償、兩端補(bǔ)償、樣條補(bǔ)償（直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償及兩端補(bǔ)償可在任意范圍進(jìn)行補(bǔ)償）

倍率

縱向倍率（Z 軸） 50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 、10 k 、20 k 、50 k 、100 k 、200 k* 、500 k*、自動(dòng)

橫向倍率（X 軸） 1 、2 、5 、10 、20 、50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 、自動(dòng)

濾波器種類標(biāo)準(zhǔn)型濾波器（2RC）、相位補(bǔ)償型濾波器（2RC）、相位補(bǔ)償濾波器（高斯）

測(cè)量速度 0.03、0.06、0.15、0.30、0.60、1.5、3、6mm/s（ 8速）

立柱上下運(yùn)動(dòng)速度：（Z 軸） 10 mm/s

檢測(cè)方式：差動(dòng)變壓器

測(cè)量力：0.75 mN　

測(cè)針半徑（測(cè)針材質(zhì)） 粗糙度測(cè)針：2μm R（60°圓錐金剛石） 波紋度齒輪頭：800μm R（紅寶石球）各1 個(gè)　標(biāo)準(zhǔn)配置

立柱上下移動(dòng)行程：250 mm 

尺寸：600×317 mm