行程： 50 to 250mm；
分別率：1um/步；
無回滯，剛；
承載能力：20kg；
可堆疊 XYZ三軸平臺
真空度：1 x 10-10 mBar；
烘烤溫度：200°C；
交叉滾子軸承；
： 1 x 106 Gy ；
可以根據(jù)客戶要求定制；
規(guī)格
單位
LTVL
LTVH
行程
mm
50/ 100 / 150 /200 /250
50/ 100 / 150 /200 /250
整步分別率
μm
5
1
速度
mm/s
15
4
推薦真空環(huán)境中速度
mm/s
2
0.8
重復(fù)定位
μm
1
0.2
水平負(fù)載能力
kg
20
20
負(fù)載力矩
Nm
<5
<5
軸向力 @ 500Hz Iφ = 1A
kg
3
10
間隙
μm
0
0
轉(zhuǎn)動(dòng), 俯仰 & 偏載 (無負(fù)載
μrad
<25
<25
Roll Compliance
μrad/Nm
33
33
Pitch & Yaw Compliance
μrad/Nm
33
33
直線度
μm
<1.3μm / 100mm
<1.3μm / 100mm
使用步進(jìn)電機(jī)
D35.1
D35.1
真空度
mBar
1 x 10-10
1 x 10-10
恩度
°C
200
200
MTBF (5kg負(fù)載和30%占空比)
hrs
15,000
10,000
北京星微自動(dòng)化科技有限公司
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