聲學(xué)顯微鏡，學(xué)名是：掃描聲學(xué)顯微鏡Scanning Acoustic Microscope，簡稱SAM。它是基于聲波脈沖反射和原理工作的，只要聲波信號在樣品表面或者內(nèi)部遇到聲波阻（如遇到孔隙、氣泡等），就會發(fā)生反射。
SAM主要用于材料淺表層結(jié)構(gòu)分析、材料力學(xué)性能的檢測、檢測等。
A、 雜質(zhì)顆粒、夾雜物、沉淀物等
B、 裂紋
C、 分層缺陷、附著物以及其他夾雜物
D、 空洞、氣泡、空隙等
SAM與X-RAY的主要區(qū)別
| SAM | X-RAY |
成像模式 | 反射模式和穿透模式 | 穿透模式 |
原理 | 聲波脈沖反射和 | 基于材料密度的差異 |
材料的穿透性 | 密集和疏松的固體 | 金屬材料穿透較差 |
對空氣的敏感性 | 空氣能阻斷聲波傳輸，確定焊接層、粘接層、填充層、涂鍍層、結(jié)合層的完整是SAM的性能 | 對空氣不是敏感，裂紋虛焊等不能被觀測到 |
材料的性 | 使用于MHz聲波，不會產(chǎn)生氣穴， | 較長時(shí)間檢測，可能會產(chǎn)生損壞和隨機(jī)的電子錯誤 |
所得圖像 | 可以分層展現(xiàn)材料內(nèi)部一層一層的圖像 | 整個(gè)樣品厚度的一個(gè)合成圖像 |
儀器簡介：德國KSI-SAM
一、1990年，世界上個(gè)做出頻率過GHz的1990年，世界上個(gè)做出頻率過GHz的聲波掃描顯微鏡，到目前為
止，其他同類儀器公司只能做到200MHz 左右；
二，1991年，世界上個(gè)在聲波顯微鏡中做出GHz V(z), V(f)定量測量系統(tǒng)；
三，1996年，推出世界上臺數(shù)字聲波顯微鏡；
四，1998年，世界上個(gè)做出帶有球面透鏡的聲波換能器；
五，2002年，世界上個(gè)在聲波顯微鏡上實(shí)現(xiàn)材料阻測量；
六，2004年，世界上個(gè)在聲波顯微鏡掃描控制平臺中采用空氣墊懸浮線性馬達(dá)驅(qū)動的X-Y掃描系統(tǒng)；
七，2004年，世界上個(gè)實(shí)現(xiàn)聲波顯微鏡自動對焦系統(tǒng)，并受到保護(hù)；
八，2004年，世界上個(gè)實(shí)現(xiàn)多探頭同時(shí)掃描大件樣品的聲波顯微鏡系統(tǒng)，并受到保護(hù)。
