n 產品介紹

μsurf系列產品采用多孔共聚焦技術，結合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當明顯。

NanoFocus μsurf mobile移動式3D測量系統(tǒng)，適用于對大型樣品的測量，所以可以在很多惡劣的環(huán)境下進行使用，并且不會影響到使用壽命。當人們還在為測量物體太過于龐大而一籌莫展時，μsurf mobile移動式3D測量系統(tǒng)的橫空出世徹底解決了人們的這個困惑，該機臺不需要移動龐大的被測物體，要帶著便捷的μsurf mobile，放在被測物體上，就可以在短時間內得出的三維表面形貌。

n 應用

μsurf系列用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf mobile主要對大型樣品進行測試，在以下幾個行業(yè)中被眾多企業(yè)廣泛使用：

ü 汽車行業(yè)

ü 印刷和造紙行業(yè)

ü 鋼鐵行業(yè)

n 技術參數

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測量時間：5~10秒

測量原理：非接觸、共聚焦、可移動，可以檢測大型的物體

X/Y方向移動范圍：50mmX50mm，馬達驅動，X/Y方向分辨率：0.3μm

Z方向移動范圍：35mm

Z方向測量范圍：250μm，Z方向分辨率：< 10nm

物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)

計算機：計算機控制系統(tǒng)，大且的軟件，有拼接功能

工作電源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用電池做電源）

材質：鋼鐵、橡膠、大理石

外型尺寸：380*110*115mm

重量：5.5KG（震拉桿箱）

潔凈室等級: Capability cl 6 (according to DIN EN ISO 14644)