主要用途：為元器件進(jìn)行高真空、中溫退火處理。消除因點(diǎn)膠、微調(diào)等過(guò)程中產(chǎn)生的應(yīng)力。
真空室規(guī)格（全不銹鋼材料，牌號(hào)：SUS304）
真空室內(nèi)部尺寸：兩個(gè)真空室，每室內(nèi)部尺寸為 500（W）Х450（D）Х530（H）mm。
內(nèi)膽尺寸：426（W）Х420（D）Х456（H）mm。
器件托盤(pán)層數(shù)：6層。
真空室外壁采用水冷。
主要技術(shù)指標(biāo)
加熱溫度：350℃
工作溫度：室溫至260℃或320℃連續(xù)可調(diào)，工作時(shí)可分階段加熱。每一階段加熱溫度為可設(shè)。
溫度均勻性：±10℃
溫：15℃（升溫階段）
限真空度：2×10-6 托
工作真空度：5×10-5 托，工作真空度時(shí)間小于20分種。
工作方式：連續(xù)工作，可手動(dòng)，可自動(dòng)。
操作方式：觸摸屏。
控制方式：PLC加溫控模塊（松下）
主要配置
主真空室：兩個(gè)的真空室，操作?？赏瑫r(shí)工作也可單獨(dú)工作。
真空獲得部分：采用兩級(jí)真空泵，級(jí)為機(jī)械泵（日本真空），第二級(jí)為復(fù)合分子泵（國(guó)產(chǎn)）。
真空閥門(mén)：不銹鋼氣動(dòng)隔斷閥（7臺(tái)）。
真空測(cè)量部分：采用復(fù)合真空計(jì)（兩臺(tái)），低真空規(guī)為熱偶規(guī)，高真空規(guī)為冷規(guī)。
加熱方式：鎧裝電阻絲加熱，每一真空室內(nèi)分布7組加熱器，每一組加熱絲均可單獨(dú)工作；并配8路熱電偶，7路為控溫用，另一路為測(cè)試比對(duì)用。
控溫方式：PID自動(dòng)調(diào)節(jié)，每一層由一的PID控制，每一層目標(biāo)溫度、輸出功率、PID參數(shù)均可單獨(dú)設(shè)定。
操作方式：觸摸屏，參數(shù)均可通過(guò)觸摸屏進(jìn)行查閱。
設(shè)備工作環(huán)境
設(shè)備外形尺寸：1800（W）Х900（D）Х1800（H）mm
設(shè)備自重：600 kg
電源：3相380V 5線(xiàn)，60A
冷卻水：0.2---0.5MPa，每分種流量10升。
壓縮空氣：0.5---0.8MPa
真空室規(guī)格（全不銹鋼材料，牌號(hào)：SUS304）
真空室內(nèi)部尺寸：兩個(gè)真空室，每室內(nèi)部尺寸為 500（W）Х450（D）Х530（H）mm。
內(nèi)膽尺寸：426（W）Х420（D）Х456（H）mm。
器件托盤(pán)層數(shù)：6層。
真空室外壁采用水冷。
主要技術(shù)指標(biāo)
加熱溫度：350℃
工作溫度：室溫至260℃或320℃連續(xù)可調(diào)，工作時(shí)可分階段加熱。每一階段加熱溫度為可設(shè)。
溫度均勻性：±10℃
溫：15℃（升溫階段）
限真空度：2×10-6 托
工作真空度：5×10-5 托，工作真空度時(shí)間小于20分種。
工作方式：連續(xù)工作，可手動(dòng)，可自動(dòng)。
操作方式：觸摸屏。
控制方式：PLC加溫控模塊（松下）
主要配置
主真空室：兩個(gè)的真空室，操作?？赏瑫r(shí)工作也可單獨(dú)工作。
真空獲得部分：采用兩級(jí)真空泵，級(jí)為機(jī)械泵（日本真空），第二級(jí)為復(fù)合分子泵（國(guó)產(chǎn)）。
真空閥門(mén)：不銹鋼氣動(dòng)隔斷閥（7臺(tái)）。
真空測(cè)量部分：采用復(fù)合真空計(jì)（兩臺(tái)），低真空規(guī)為熱偶規(guī)，高真空規(guī)為冷規(guī)。
加熱方式：鎧裝電阻絲加熱，每一真空室內(nèi)分布7組加熱器，每一組加熱絲均可單獨(dú)工作；并配8路熱電偶，7路為控溫用，另一路為測(cè)試比對(duì)用。
控溫方式：PID自動(dòng)調(diào)節(jié)，每一層由一的PID控制，每一層目標(biāo)溫度、輸出功率、PID參數(shù)均可單獨(dú)設(shè)定。
操作方式：觸摸屏，參數(shù)均可通過(guò)觸摸屏進(jìn)行查閱。
設(shè)備工作環(huán)境
設(shè)備外形尺寸：1800（W）Х900（D）Х1800（H）mm
設(shè)備自重：600 kg
電源：3相380V 5線(xiàn)，60A
冷卻水：0.2---0.5MPa，每分種流量10升。
壓縮空氣：0.5---0.8MPa
