- 產(chǎn)品品牌：
- Si-plasma
- 產(chǎn)品型號：
- BPCV001
- 結(jié)構(gòu)形式：
- 其它
功能 真空蝶閥具備蝶閥本體與控制器，控制器可供應(yīng)蝶閥電源與壓力計電源，
節(jié)省系統(tǒng)與蝶閥間復(fù)雜的配線，另外真空蝶閥除具備蝶閥開合度調(diào)節(jié)壓力外，
更加入流量控制器的操作來調(diào)節(jié)壓力，可比一般外購蝶閥更容易穩(wěn)定系統(tǒng)壓力 特點 ．ISO63~ ISO160管徑
．具備壓力與角度控制模式
．具備蝶閥本體與控制器
．內(nèi)部提供壓力計電源
．可操作流量控制器調(diào)節(jié)壓力
．具備壓力異常警告 應(yīng)用產(chǎn)業(yè) ．鍍膜產(chǎn)業(yè)
．光電半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
．相關(guān)真空制程領(lǐng)域
