- 產(chǎn)品品牌：
- 日立
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- SU6600
- 類(lèi)型：
- 光學(xué)顯微鏡
產(chǎn)品名稱(chēng)：配有VP功能的新型熱場(chǎng)掃描電鏡SU6600
配有VP功能的新型熱場(chǎng)掃描電鏡SU6600的介紹
型可以提供200nA的探針電流，并且配置了VP功能，可以滿(mǎn)足不導(dǎo)電樣品的無(wú)蒸鍍觀(guān)測(cè)。
配有VP功能的新型熱場(chǎng)掃描電鏡SU6600的特點(diǎn)
1.200nA的探針電流，可滿(mǎn)足EDX、WDX、EBSP、CL等應(yīng)用
2.配有VP功能，可自動(dòng)實(shí)現(xiàn)壓差光闌的安裝和取出
3.配有二次電子探頭和背散射探頭，可選配ESED
4.大型分析型樣品室，可方便的安裝多種分析附件
5.可裝載150mm直徑、40mm高樣品
6.電腦控制的5軸優(yōu)中心馬達(dá)樣品臺(tái)
二次電子分辨率：1.2nm@30KV
3.0nm@1KV
4.5nm@30KV,150Pa
背散射電子分辨率：3.5nm@30KV
放大倍率：10~600,000（輸出尺寸127x96mm）
電子槍類(lèi)型：熱場(chǎng)發(fā)射
探針電率：1pA~200nA
加速電壓：0.5~30KV
物鏡光闌：自清潔、4孔可動(dòng)式
束閘：電磁式
樣品臺(tái)：電腦控制的5軸優(yōu)中心馬達(dá)樣品臺(tái)
X：0~110mm
Y：0~110mm
Z：4~40mm
T：-5°~+70°
R：360°
樣品尺寸：直徑150mm x高40mm
探頭：二次電子探頭
背散射電子探頭
