無需靶鏡的高激光自干涉儀

產(chǎn)品介紹：

傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測目標(biāo)上設(shè)置靶鏡，以反射測量光線，獲得高測量效果。清華大學(xué)推出國際光的LY1000非接觸式激光干涉儀，無需反射靶鏡，利用待測物工件自身反射的光線即可實現(xiàn)高的測量

應(yīng)用場所介紹

除傳統(tǒng)激光干涉儀使用的測量目標(biāo)外，還適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的測量目標(biāo)，如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移、材料膨脹系數(shù)等

系統(tǒng)特點

1無需靶鏡、非接觸式測量、量測可達(dá)5M

2被測物表面反射率無嚴(yán)格要求，可測“黑”表面

3采用激光自干涉原理，線性測量可達(dá)1*10-6次方

4無外部光學(xué)器件、無需調(diào)整光路、操作靈活方便

5自動環(huán)境補(bǔ)償，測量高

規(guī)格參數(shù)

激光頭尺寸                          265*90*78mm

激光頭重量                          4Kg

激光工作波長                       1064nm

激光功率                              1-5mW

激光光束直徑                       3-5mm

工作溫度范圍                        0℃-+40℃

系統(tǒng)組成                              激光頭、控制箱、補(bǔ)償傳感器、筆記本電腦、連接電纜

激光穩(wěn)頻                        1*10-6

線性測量范圍                        5m

線性測量                        1*10-6

分辨率                                  1nm

被測物反射率                          10-7——1

測量速度                          50mm/s