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紫外光刻機, 曝光機
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紫外光刻機, 曝光機

產(chǎn)品價格：
電議
產(chǎn)品型號：
pe700
供應(yīng)商等級：
免企業(yè)未認(rèn)證
經(jīng)營模式：
貿(mào)易商
企業(yè)名稱：
哈爾濱特博科技有限公司
所屬地區(qū)：
黑龍江哈爾濱市
發(fā)布時間：
2013/11/9 16:21:02

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李洪巖先生(聯(lián)系我時，請說明是在維庫儀器儀表網(wǎng)看到的，謝謝)

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哈爾濱特博科技有限公司

免企業(yè)未認(rèn)證證營業(yè)執(zhí)照已上傳

經(jīng)營模式：貿(mào)易商

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產(chǎn)品名稱：經(jīng)濟型臺式光刻機

產(chǎn)地：美國

 

名稱

能力

數(shù)值

基片臺

X, Y方向運動距離

+/-0.25”(+/-6.5mm)

Z方向運動距離

1500微米

測微計

0.001”; 0.0001”

刻度

0.01mm; 0.001mm

旋轉(zhuǎn)

+/-3.5°

光罩

尺寸

5”×5” ~ 9”×9”

光源

直徑

8”

對準(zhǔn)1微米

曝光強度可控能力+/-2%

功率

200 ～

尺寸

高940mm；寬788mm；深635mm；重量250磅

 

產(chǎn)品名稱：高半自動光刻機

產(chǎn)地：美國

能力

數(shù)值

X, Y方向運動距離

+/-6.5mm

Z方向運動距離

+/-1250微米

運動增益

0.25微米，小可達(dá)0.1微米

X, Y方向側(cè)向偏離度

Z方向運動100微米偏離度小于0.1微米

Theta;

+/-3°；0.001°

卡盤找平

楔形補償平衡系統(tǒng)

光罩旋轉(zhuǎn)

+/-15°

光罩和基片間壓力

可以自行設(shè)置

光刻模式

靠近、軟接、硬接和真空接觸

預(yù)對準(zhǔn)能力

是

精對準(zhǔn)能力

小于1微米

光罩尺寸

9”×9”

光刻能力：

0.6微米（近紫外）；0.4微米（中紫外）；0.25微米（深紫外）

適用樣品尺寸

50 ～ 200mm

 

產(chǎn)品名稱：高半自動光刻機

產(chǎn)地：美國

能力

數(shù)值

X, Y方向運動距離，

+/-6mm；
0.1微米

Z方向

+/-0.5微米

Theta;

+/-3°；0.001°

光罩旋轉(zhuǎn)

+/-15°

控制方式

軟件控制，多種工藝參數(shù)可自行設(shè)定

卡盤移動控制

電子桿

光刻模式

靠近、軟接、硬接和真空接觸

預(yù)對準(zhǔn)能力

X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5°

精對準(zhǔn)能力

小于1微米

光罩尺寸

14”×14”

適用的樣品尺寸

50 ～ 300mm

光源選擇

近紫外，中紫外和深紫外

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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哈爾濱特博科技有限公司

聯(lián)系人：
李洪巖先生
手機：
13613627346
傳真：
0451-51752136
所在地：
黑龍江 哈爾濱市
類型：
貿(mào)易商
地址：
哈爾濱道里區(qū)河鼓街副3號

服務(wù)熱線

0451-51752136

QQ:1391291099　

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